1.材料優(yōu)勢
優(yōu)質(zhì)濾材:采用高性能的濾材,如疏水的聚四氟乙烯微孔濾膜材質(zhì)(PTFE折疊濾芯)、耐高溫玻纖濾料等。這些材料具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和物理性能,能夠有效過濾微小顆粒、液滴和氣味,去除空氣和水分中的各種雜質(zhì)和污染物。
高純度材料:在半導(dǎo)體制造過程中,需要使用高純度的材料來避免對芯片造成污染。MOCVD半導(dǎo)體設(shè)備濾芯所用的材料經(jīng)過嚴(yán)格篩選和處理,確保其純度符合要求,從而保證了過濾精度。例如,進(jìn)口濾材能夠保證過濾器的使用壽命以及對后端真空泵及管路的清潔,而且在高溫環(huán)境下可長期使用,不會產(chǎn)生燃燒等意外。
2.設(shè)計(jì)優(yōu)勢
合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì):濾芯的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,能夠增加有效過濾面積,提高容污能力。例如,采用波紋工藝的濾芯,有效過濾面積增加,容污能力強(qiáng),使用周期長。
兩級過濾工藝:部分濾芯采用兩級過濾工藝,分級過濾雜質(zhì),能夠更有效地去除不同大小的顆粒雜質(zhì),進(jìn)一步提高了過濾精度。
3.工藝優(yōu)勢
嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝:生產(chǎn)廠家在生產(chǎn)過程中,遵循嚴(yán)格的質(zhì)量管理體系,從原材料到成品層層把關(guān),確保產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定。
先進(jìn)的加工技術(shù):利用先進(jìn)的加工技術(shù),能夠精確控制濾芯的尺寸、孔徑等參數(shù),保證過濾精度的穩(wěn)定性。同時(shí),先進(jìn)的加工技術(shù)還可以提高濾芯的表面光滑度,減少雜質(zhì)的附著,延長使用壽命。
